MEB FEG (à l'ENSAM) : pour l'imagerie SE, BSE, la microanalyse EDS, et les essais in-situ (traction, flexion)

• Responsable : Sarah BAÏZ
• Co-formateurs : Thierry MALOT, Frédéric VALES
• Localisation : CNAM
• Marque : HITACHI
• Modèle : 4800-S
• Année d’acquisition : 2007, grâce au soutien de la Région IDF dans le cadre du programme SESAME 2004, des Arts et Métiers et du CNRS
• Applications : MEB haute résolution pour réaliser de l’imagerie SE, BSD et analyse chimique semi-quantitative EDS, sur des échantillons conducteurs ou isolants (observation possible à basse tension, sans métallisation préalable)
• Caractéristiques techniques : 
  • MEB à émission de champs (Field Emission Gun)
  • Tensions d’accélération : 0.5-30 kV
  • Grossissement : jusque x 800 000
  • Détecteurs électrons secondaires (SE) et rétrodiffusés (BSE, détecteurs dans la chambre et in-lens)
  • Détecteur EDS pour microanalyse chimique par photons X : THERMO Scientific – Silicon Drift (i.e. sans azote liquide)
  • Imagerie par transmission grâce au montage et détecteurs STEM
  • Caméra infrarouge pour visualiser l’intérieur de la chambre
  • Gamme de mesure en Z : 524 µm (résolution 1 A°)
  • Manuel d’utilisation
  • Fiche sécurité ci-joint (bas de page)

• Essais mécaniques in-situ :
  • Responsables : Sarah BAÏZ,  Jean-Baptiste MARIJON
  • Machine DEBEN, acquise en 2010 
  • Capacité 5 kN
  • Course de déplacement 20 mm
  • Montages disponibles : flexion 3 ou 4 points ; traction (montage en cours de conception)
  • Platine d’essai pouvant être installée sur le MEB ainsi que sur d'autres équipements au laboratoire (microscopes optiques, bancs de diffraction) ou hors du laboratoire (tomographe, synchroton de l'ESRF à Grenoble ...).
  • Guide d’utilisation

MEB TUNGSTENE (à l'ENSAM) : pour l'imagerie SE uniquement

• Responsables : Sarah BAÏZ
• Localisation : Halle 4, salle à gauche du MEB FEG (H4.0.2)
• Marque : PHILIPS / FEI
• Modèle : XL40
• Mise en service en 1995, racheté par le PIMM en 2012, remodernisé en 2014.
• Applications : Imagerie de contrôle uniquement (SE/BSE)
• Caractéristiques techniques : 
  • MEB à filament de Tungstène
  • Tensions d’accélération : 0.2-30 kV
  • Grossissement : jusque x 100 000
  • Détecteurs : SE, BSE (détecteur EBSD transféré depuis début 2020 sur le MEB tungstène ZEISS EVO MA10 du CNAM, plus récent)
  • Caméra infrarouge pour visualiser l’intérieur de la chambre
  • Chambre de grande taille (dimensions intérieures : 379 x 325 x 315 mm)
  • Platine 5 axes (X, Y et rotation motorisés, Z et tilts manuels)
  • Air comprimé : compresseur JUN-AIR OF302-25B
  • Pompage primaire : 2 pompes à vide à palette EDWARDS RV8
  • Secondaire : pompe turbomoléculaire (vide < 4.10^-6 mBar)
  • Chambre sur table à coussin d’air
  • OS : WINDOWS XP
  • Manuel d’utilisation
  • Fiche sécurité

MEB TUNGSTENE (au CNAM) : pour les analyses EBSD en priorité

• Responsable : Sarah BAÏZ
• Localisation : CNAM Paris
• Marque : ZEISS
• Modèle : EVO MA-10
• Année d’acquisition : 2009, comme support pour la formation continue et la recherche au CNAM
• Applications : MEB haute résolution pour réaliser de l’imagerie SE, BSD et analyse chimique semi-quantitative EDS, sur des échantillons conducteurs ou isolants (observation possible à basse tension, sans métallisation préalable)
• Caractéristiques techniques : 
  • MEB à filament de Tungstène
  • Imagerie en électrons secondaires (SE) et rétrodiffusés (BSE)
  • Microanalyse chimique EDS par photons X : détecteur BRUKER XFlash 5010
  • Analyse EBSD (détecteur Nordif UF1000 - Résolution 1 µm ; 0.5°- Logiciel TSL OIM Analysis)
  • Platine motorisée 5 axes
  • Hauteur maximale de l'échantillon : 100 mm
  • Grossissement : jusque x 1 000 000
  • Tension d'accélération : 0,2 à 30 kV
  • Courant de sonde : 0,5 pA à 5 μA
  • Manuel d'utilisation
  • Fiche sécurité
• Métalliseur Or
  • Localisation : salle du MEB au CNAM
  • Marque : EDWARDS
  • Modèle : S510-B
  • Applications : métallisation de surfaces à observer au MEB à tension élevée.
  • Caractéristiques techniques : 
    • Injection d’argon possible
    • Pompe EDWARDS E2M2
    • Vitesse de dépôt : ~60 nm/min
    • Table porte-échantillon : Ø 100 mm
    • Cible (cathode) : Or
    • Descriptif technique ci-joint (bas de page)